Producción CyT
XXII Encuentro de superficies y materiales nanoestructurados_Libro de Resúmenes - Caracterización del dopaje de Fósforo obtenido por proceso de difusión térmica sobre regiones localizadas de Silicio para el desarrollo de microdosímetros
Congreso
Autoría:
Dante Mercado ; Nadia Kondratiuk ; BOGGIO, NORBERTO GABRIEL ; Lucia Cervantes Schamun ; Juan Ignacio Drovandi ; Maria Deiana ; Juan Bonaparte ; Laura Baqué ; Monica Bogado ; Berlin, GuidoFecha:
2023Editorial y Lugar de Edición:
Editorial de la Universidad Nacional del SurISSN:
978-987-655-346-9Resumen *
Un microdosímetro es un dispositivo que permite medir dosis de radiación depositada en volúmenes a escala micrométrica. En los últimos años se empezó a utilizar tecnología basada en semiconductores para diseñar dosímetros que puedan operarse con precisión micrométrica. El diseño típico de un microdosímetro consiste en un arreglo de diodos PIN distribuidos geométricamente sobre un sustrato de silicio. Para que el dispositivo funcione de manera óptima una de las etapas importantes en la microfabricación es poder controlar la concentración de los dopantes tipo p y n. Además, es fundamental que las regiones dopadas tengan una localización precisa en relación con el diseño elegido.En este trabajo se presentan los primeros resultados de la caracterización propuesta y se describen brevemente sus etapas. Información suministrada por el agente en SIGEVAPalabras Clave
SEMICONDUCTORES DIFUSION TÉRMICA DOPANTESMICRODOSIMETRÍA