Science and Technology Production
- - Efecto de la cantidad de capas en crecimiento de películas de óxido de titanio
Congreso
Authorship:
SEQUEIRA, KAREN MELANIE ; Morinigo, Luis Ezequiel ; Surez, Gustavo ; Tejerina, Matías RubénDate:
2023Publishing House and Editing Place:
-Summary *
El dióxido de titanio (TiO2) es un material semiconductor y fotocatalizador, destacado por sus notables propiedades eléctricas y ópticas, así como por su bajo costo y su naturaleza no tóxica. En estudios previos, se han producido películas delgadas de TiO2 por inmersión (Dip Coating) con diferentes números de capas (1-5 capas), con valores de energía de banda prohibida en el rango de 3,58-3,67 eV, donde además, no se observó un efecto significativo en el espesor promedio con el aumento del número de capas[1].En base a estos antecedentes, el presente trabajo analiza la influencia de un mayor número de capas en el proceso mencionado de crecimiento de películas del óxido de titanio. Para la fabricación, se empleó una solución envejecida durante 18 días generado a partir del precursor tetrabutóxido de titanio (TBT). Mediante este enfoque se obtuvieron dos muestras con diferente número de capas: una con 5 capas y la otra con 10 capas, ambas sometidas a un tratamiento térmico a 500°C durante 45 minutos. Usando espectroscopía UV, se midió la transmitancia y a partir de la misma, la energía de banda prohibida. Se observaron energías de banda prohibida de 3,8±0,01 eV y 3,7±0,01 eV para las muestras de 5 y 10 capas, respectivamente. En el espectro de transmitancia (Figura 1) de la muestra con mayor número de capas se pudo observar un aumento de oscilaciones, indicativo de un aumento de espesor, siendo los valores estimativos, para la muestra de 5 capas entre 90-120 nm y para la de 10 capas entre 240-260 nm (estas medidas fueron estimadas con el simulador de Filmetrics [2]). Estos resultados muestran las diferencias en las propiedades ópticas que surgen de la variación en el número de capas. En cuanto a la resistencia eléctrica a una distancia de 1 cm entre puntas, se obtuvieron valores de 1±0,01 GΩ y 0,5±0,01 GΩ para las muestras de 5 y 10 capas, respectivamente, indicando una mayor conductividad en estas últimas. En conclusión, como resultado preliminar, se observó una ligera reducción de la energía de banda prohibida y una disminución de la resistividad eléctrica al aumentar el número de capas, además de un notable aumento del espesor de las muestras. Information provided by the agent in SIGEVAKey Words
TITANIOFILMSSEMICONDUCTORES